隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)計(jì)量技術(shù)的要求越來(lái)越高，尤其是當(dāng)代宇航和天文等技術(shù)的發(fā)展，要求計(jì)量向納米技術(shù)發(fā)展，納米計(jì)量和標(biāo)定技術(shù)成為目前各學(xué)科必須解決的問(wèn)題。因此外儀器計(jì)量部門(mén)都在研究和生產(chǎn)各種納米級(jí)準(zhǔn)確度的計(jì)量?jī)x器，并探討其標(biāo)定和校正方法，以滿足科學(xué)技術(shù)發(fā)展的需要。近幾年來(lái)，各國(guó)相繼研制成功了各種納米量級(jí)的測(cè)微儀，它們包括激光干涉儀、電容測(cè)微儀和電感測(cè)微儀，這些測(cè)微儀雖然已經(jīng)在許多學(xué)科及部門(mén)得到了廣泛應(yīng)用，有的測(cè)微儀的準(zhǔn)確度到底如何?就目前的方法是無(wú)法進(jìn)行測(cè)定的。另外，還有一些微位移進(jìn)給器件，例如壓電陶瓷等，雖然應(yīng)用范圍很廣，但其非線性和位移準(zhǔn)確度如何?有時(shí)也沒(méi)有可靠的檢測(cè)手段。

一、基于有基準(zhǔn)的儀器校正技術(shù)

有基準(zhǔn)方法是傳統(tǒng)的對(duì)比儀器校正，此方法在儀器計(jì)量部門(mén)對(duì)各種新設(shè)備的標(biāo)定、舊設(shè)備的校正以及各個(gè)學(xué)科的實(shí)際工程技術(shù)測(cè)量中都得到了廣泛的應(yīng)用。

有基準(zhǔn)儀器校正法的基本原理是：對(duì)于任何被測(cè)量新的或在用過(guò)程中的檢測(cè)設(shè)備，為了確定其測(cè)量結(jié)果的可靠性，通常采用比被測(cè)量準(zhǔn)確度更高等級(jí)的檢測(cè)設(shè)備，準(zhǔn)確地標(biāo)定其在測(cè)量范圍內(nèi)的測(cè)量準(zhǔn)確度、分辨力、穩(wěn)定性等性能指標(biāo)。從該方法的原理看出，對(duì)于長(zhǎng)度計(jì)量的位移傳感器的儀器校正技術(shù)，必須解決兩個(gè)關(guān)鍵性問(wèn)題：一是具有更高等級(jí)準(zhǔn)確度、更高分辨力的測(cè)微系統(tǒng)；二是能夠提供足夠小的達(dá)到測(cè)微系統(tǒng)分辨力的微位移機(jī)構(gòu)。只有滿足了上述兩個(gè)條件，才能真正對(duì)測(cè)微系統(tǒng)的分辨力、準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性等性能指標(biāo)給予的評(píng)價(jià)。對(duì)于具有有效測(cè)量面積位移傳感器的測(cè)微系統(tǒng)，采用這種原理進(jìn)行標(biāo)定的方法主要有以下幾種：

1、小角度檢查儀(正弦尺)標(biāo)定方法

用小角度檢查儀和標(biāo)準(zhǔn)量塊對(duì)電容測(cè)微儀的標(biāo)定方法是80年代末期，儀器計(jì)量部門(mén)針對(duì)具有有效測(cè)量面積的電容和電感測(cè)微儀而制定的一種標(biāo)定方法，其具體的工作原理如圖1-1所示。