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半導(dǎo)體行業(yè)碳化硅長晶爐應(yīng)用案例
發(fā)布時間：2025-02-12瀏覽次數(shù)：483返回列表
物理氣相傳輸法（PVT）是制備碳化硅（SiC）晶體的主流方法之一，PVT法生長SiC單晶，溫度高達2300℃，生長過程需嚴格控制生長溫度梯度，其溫度控制系統(tǒng)為閉環(huán)控制，由紅外測溫儀、溫控器、加熱電源以及加熱器（感應(yīng)線圈）組成。
系統(tǒng)框圖：
宇電AI系列人工智能調(diào)節(jié)器
1、AI-8x9系列
2、AI-MODBUS-TCP1-24VDC
成功應(yīng)用于國內(nèi)某半導(dǎo)體裝備制造頭部企業(yè)碳化硅長晶爐，該系統(tǒng)溫度的控制，儀表兼容多類型輸入/輸出規(guī)格，具備可調(diào)的控制周期及報警功能，通訊兼容RS485及RS232，且可匹配外部TCP模塊實現(xiàn)MODBUS-TCP便捷通訊。
溫度控制效果：
溫度控制效果：溫度波動≤±0.5℃@2200℃，溫度超調(diào)、穩(wěn)定時間等指標均與英國競品水平相當(dāng)，經(jīng)終端客戶驗證，可完全平替國外競品，成功實現(xiàn)國產(chǎn)替代。
