產(chǎn)品簡(jiǎn)介
MFC-S型氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量控制器(MFC,Mass Flow Controller),是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的必不可少的控制
公司簡(jiǎn)介
北京飛凱曼科技有限公司為多家國(guó)內(nèi)外高科技儀器廠家在中國(guó)地區(qū)獨(dú)家代理。飛凱曼科技公司一貫秉承『誠(chéng)信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國(guó)用戶提供最先進(jìn)的儀器、設(shè)備,最周到的技術(shù)、服務(wù)和完美的整體解決方案。在科技日新月異、國(guó)力飛速發(fā)展的中國(guó),光電技術(shù)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體薄膜薄膜生長(zhǎng)和加工技術(shù)、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家完全接軌的儀器設(shè)備平臺(tái)來實(shí)現(xiàn)。飛凱曼科技公司有幸成長(zhǎng)在這個(gè)科技創(chuàng)造未來的年代,我們?cè)敢饣癁橐蛔鶚蛄海娮C中國(guó)科技水平的提升,與中國(guó)科技共同飛速成長(zhǎng)。
主要產(chǎn)品:
1. 晶圓探針臺(tái)、平板式樣品探針臺(tái)、Mini腔探針臺(tái)、四探針臺(tái)、環(huán)境可控型四探針臺(tái)、高低溫(變溫)探針臺(tái)、霍爾效應(yīng)測(cè)試儀
2. 在線表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、片狀物在線表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、片狀物離線表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)、智能型視頻表面檢測(cè)系統(tǒng)、自動(dòng)化印刷檢測(cè)系統(tǒng)
3. 日本AET公司微波介電常數(shù)測(cè)試儀
4. 在線粘度計(jì)、便攜式在線粘度計(jì)、高溫粘度計(jì)
5. 穩(wěn)定性分析儀
6. 高純混合晶體膜料、高純晶體膜料Ti3O5
7. DPSSL、近紅外激光汽、綠光激光器、藍(lán)光激光器、紫外光激光器、半導(dǎo)體激光器、波長(zhǎng)穩(wěn)定的半導(dǎo)體激光器、單頻半導(dǎo)體激光器、單頻激光器、單縱模激光器、光纖耦合半導(dǎo)體激光器、光纖激光器,光纖放大器
8. 體全息光柵(VHG)、脈沖展寬器、脈沖壓縮器、脈沖抑制器、陷波濾光片、ASE抑制濾波器、合束器、多線濾波器、相位掩模版、VHG-FAC、激光穩(wěn)頻元件
展開
產(chǎn)品說明
MFC-S型氣體質(zhì)量流量控制器
氣體質(zhì)量流量控制器(MFC,Mass Flow Controller),是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的必不可少的控制單元。
氣體質(zhì)量流量控制器的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對(duì)各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量和控制,大量用于電子工藝設(shè)備(如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射等)以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中;并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等行業(yè)。它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量流過氣體的質(zhì)量流量,具有溫度、壓力囪動(dòng)補(bǔ)償特性。
產(chǎn)品功能和特點(diǎn):
<0.2%FS
zui高三年質(zhì)保
技術(shù)參數(shù):
1.量程:20/50/100//3000 sccm
2.氣體類型:非腐蝕性氣體 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2
3.測(cè)量精度:
N2, 25°C, 1 bar:
≤ ± 0.2 % F.S. 對(duì)于 0...10% F.S.
≤ ± 1 % O.R. 對(duì)于 10... F.S.
4.長(zhǎng)期穩(wěn)定性:± 0.25 % F.S. /年
5.工作溫度:0-50 ºC
6.氣體壓力:0.5-3 Bar
7.輸入輸出:0…5 V
8.氣管接頭:¼ 不銹鋼卡套
9.漏率:Helium Leak check <10-10 mbar l/s
10.電源:+12-24V
11.響應(yīng)時(shí)間:<800 ms
詳細(xì)信息請(qǐng)咨詢我們。
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