產(chǎn)品簡介
北京小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于
公司簡介
北京富瑞恒創(chuàng)科技有限公司，成立于2009年8月，成立至今已經(jīng)和國內(nèi)多家知名教育機構(gòu)，全國各地多家企業(yè)有過長期的合作關(guān)系，專注于新型材料試驗機的研究，長期聘請清華大學精密儀器系的專家為技術(shù)顧問，并成立新型材料檢測儀器研發(fā)中心。
北京富瑞恒創(chuàng)科技有限公司是集專業(yè)設計、開發(fā)、生產(chǎn)與銷售于一體的高新技術(shù)股份制企業(yè)，專注于新型材料試驗機的研制、材料檢測技術(shù)的提高及材料試驗方法的創(chuàng)新，是國內(nèi)領先的材料試驗檢測儀器的生產(chǎn)企業(yè)。
富瑞恒創(chuàng)儀器研發(fā)部擁有行業(yè)內(nèi)最優(yōu)秀的、權(quán)威的研發(fā)力量及技術(shù)團隊，長期聘請清華大學精密儀器系的專家為技術(shù)顧問，并成立新型材料檢測儀器研發(fā)中心，是對推動國內(nèi)材料檢測技術(shù)的提高和試驗方法創(chuàng)新的重要技術(shù)保證力量。富瑞恒創(chuàng)同時還與中科院自動化研究所、國防科技大學等全國數(shù)十所科研院所開展緊密合作，并為中國國防軍工企業(yè)及航天科技企業(yè)和重點實驗室定制生產(chǎn)了大量標準和非標準的專用測試儀器。
富瑞恒創(chuàng)以精美的產(chǎn)品、精湛的技術(shù)、精良的品質(zhì)、精心的服務贏得了廣大用戶和市場份額，產(chǎn)品暢銷全國，擁有一大批國內(nèi)外著名科研院所及企業(yè)用戶，是國內(nèi)試驗機行業(yè)發(fā)展速度最快的企業(yè)之一。
展開
產(chǎn)品說明
北京小流量氣體質(zhì)量流量傳感器
型號：TL/FS4001
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北京小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點：
- 傳感器靈敏度高,有小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高度和優(yōu)良的重復性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
北京小流量氣體質(zhì)量流量傳感器主要參數(shù)：
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性能參數(shù)
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FS4001
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單位
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通 徑
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1.0
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1.8
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mm
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zui大流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SCCM
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量程比
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≥100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重復性
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0.25
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%讀數(shù)
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零點輸出飄移
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±30
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mV
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輸出飄移
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±0.12
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%/oC
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響應時間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式
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線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
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zui大流量壓損
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350
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300
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pa
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zui大工作壓力
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0.5
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MPa
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工作溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存儲溫度
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-20 ~ +65
|
oC
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工作濕度
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<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
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機械接口
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可拆式軟管接頭
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校準方式
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空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
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重量
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15
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g
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