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JKZC-DM系列基礎(chǔ)型探針臺是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)計(jì)精密,價(jià)格實(shí)惠,配置靈活,極具性價(jià)比。在高等院校教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過程中得到了廣泛運(yùn)用,配合對應(yīng)的儀器儀表,用于測試各類器件的IV、CV、l-t、V-t,光電信號,1/f噪聲測試,器件表征測試,RF射頻等。如 果您的...
JKZC-DM系列基礎(chǔ)型探針臺
產(chǎn)品概要
JKZC-DM系列基礎(chǔ)型探針臺是我司一款基于高校教育與實(shí)驗(yàn)室而研發(fā)的基礎(chǔ)型晶圓測試探針臺。其結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)計(jì)精密,價(jià)格實(shí)惠,配置靈活,極具性價(jià)比。在高等院校教學(xué)和小型實(shí)驗(yàn)室科研過程中得到了廣泛運(yùn)用,配合對應(yīng)的儀器儀表,用于測試各類器件的IV、CV、l-t、V-t,光電信號,1/f噪聲測試,器件表征測試,RF射頻等。如 果您的測試器件pad電極大于50um,此系列探針臺是首選。
JKZC-DM系列基礎(chǔ)型探針臺技術(shù)特點(diǎn)
?整機(jī)一體化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊占地小,可放置于手套箱內(nèi)使用;
?自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì),可有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾;
? U型平臺鍍鎳設(shè)計(jì),增大針座加載空間的同時(shí)還提高了針座平臺和針座之間的吸附力。
JKZC-DM系列基礎(chǔ)型探針臺詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號 技術(shù)參數(shù) |
JKZC-DM4 |
JKZC-DM6 |
JKZC-DM8 |
|
探針臺臺體 |
主體材料 |
航空鋁 |
航空鋁 |
航空鋁 |
整機(jī)尺寸(mm) |
500L*380W*520H |
550L*420W*520H |
600L*480W*520H |
|
重量 |
30kg |
35kg |
50kg |
|
自適應(yīng)減震系統(tǒng) |
自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì),可有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾 |
|||
卡盤大小 |
4英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) |
6英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) |
8英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) |
|
卡盤XY軸行程 |
4英寸*4英寸,精度10um |
6英寸*6英寸,精度10um |
6英寸*6英寸,精度10um |
|
卡盤Z軸行程 |
快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度丄微米(選件) |
|||
卡盤材質(zhì) |
不銹鋼鍍金,具備更小的接觸電阻 |
|||
卡盤吸附方式 |
真空吸附,可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附(適用于薄片) |
|||
背電極測試功能 |
卡盤鍍金,電學(xué)獨(dú)立懸空,帶2個(gè)4mm香蕉頭插口,具備背電極功能 |
|||
其它功能 |
帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù),可升級 |
|||
針座平臺 |
材質(zhì) |
U型平臺,Q235鍍療,帶接地端子 |
||
大小 |
最多可放置4個(gè)探針座 |
最多可放置6個(gè)探針座 |
最多可放置8個(gè)探針座 |
|
顯7F系統(tǒng) |
顯微鏡類型 |
體式顯微鏡/視頻顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) |
||
倍率范圍 |
16X~200X/40X~280X |
|||
調(diào)焦范圍 |
50.8mm |
|||
顯微鏡移動(dòng) |
顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn),帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機(jī)構(gòu),帶顯示器支架 |
|||
CCD成像系統(tǒng) |
2k或者4K相機(jī),幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能 |
|||
探針座 |
種類 |
絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 |
||
X-Y-Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
|||
機(jī)械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
|||
夾具 |
漏電精度 |
同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA |
||
接口形式 |
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口 |
|||
其它 |
選件 |
屏蔽箱/防震桌/射頻系統(tǒng)/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等 |
||
電力需求 |
220V/50HZ |
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