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JKZC-DH系列綜合型探針臺(tái)是一款綜合型晶圓測(cè)試探針臺(tái),最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)設(shè)備配 置十分豐富,不僅具備龍門(mén)架結(jié)構(gòu)和卡盤(pán)的升降功能,還具備業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的卡盤(pán)快速移動(dòng)技術(shù),可快速定位 樣品位置,提高測(cè)試效率。另外針座平臺(tái)具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離,同時(shí)...
JKZC-DH系列綜合型探針臺(tái)
|產(chǎn)品概要
JKZC-DH系列綜合型探針臺(tái)是一款綜合型晶圓測(cè)試探針臺(tái),最大可完成12英寸晶圓的電學(xué)測(cè)試。此系列探針臺(tái)設(shè)備配 置十分豐富,不僅具備龍門(mén)架結(jié)構(gòu)和卡盤(pán)的升降功能,還具備業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的卡盤(pán)快速移動(dòng)技術(shù),可快速定位 樣品位置,提高測(cè)試效率。另外針座平臺(tái)具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離,同時(shí)也方便探針卡的使用。此設(shè)備在大型實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體工廠得到廣泛運(yùn)用,配合對(duì)應(yīng)的儀器儀表,可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測(cè)試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽(yáng)能電池行業(yè)的測(cè)試。此系列探針臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)1μm以上的Pad電極測(cè)試,也可以實(shí)現(xiàn)搭載探針卡的測(cè) 試。
|JKZC-DH系列綜合型探針臺(tái)技術(shù)特點(diǎn)
?卡盤(pán)可360度快速移動(dòng),便于快速定位樣品位置,提高測(cè)試效率;
?三段式可升降探針座平臺(tái),在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離;
?加厚級(jí)剛性金屬框架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),領(lǐng)先的內(nèi)部防震技術(shù),結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定。
JKZC-DH系列綜合型探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) 技術(shù)參數(shù) |
JKZC-DH6 |
JKZC-DH8 |
JKZC-DH12 |
|
探針臺(tái)本體 |
主體材料 |
航空鋁 |
航空鋁 |
航空鋁 |
整機(jī)尺寸(mm) |
750L*550W*680H |
800L*580W*680H |
930L*700W*680H |
|
重? |
75kg |
95kg |
150kg |
|
卡盤(pán)大小 |
6" ,360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) |
8",360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) |
12;360度轉(zhuǎn)動(dòng),可微調(diào) |
|
卡盤(pán)XY軸行程 |
6"6",精度 10um |
8"*8",精度 10um |
12"*12"3m 度 10um |
|
卡盤(pán)Z軸行程 |
快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度1微米 |
|||
卡盤(pán)材質(zhì) |
不銹鋼鍍金,具備更小的接觸電阻 |
|||
卡盤(pán)氣浮移動(dòng)范圍 |
360度快速移動(dòng),便于快速定位,提高測(cè)試效率 |
|||
卡盤(pán)吸附方式 |
真空吸附,可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附(適用于薄片) |
|||
背電極測(cè)試功能 |
卡盤(pán)鍍金,電學(xué)獨(dú)立懸空,帶2個(gè)4mm香蕉頭插口,具備背電極功能 |
|||
其它功能 |
帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù),可升級(jí) |
|||
針座平臺(tái) |
材質(zhì) |
U型平臺(tái),Q235鍍銀,帶接地端子 |
||
大小 |
最多可放置6個(gè)探針座 |
最多可放置8個(gè)探針座 最多可放置12個(gè)探針座 |
||
三段式升降平臺(tái) |
探針平臺(tái)可以快速升降,擁有5mm和300um兩檔,探針平臺(tái)可以上下微調(diào), 行程25mm,升降精度gm。(使用探針卡的時(shí)候使用) |
|||
顯TH系統(tǒng) |
顯微鏡類(lèi)型 |
體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng) |
||
倍率范圍 |
16X~200X/40X~280X/20X~4000X |
|||
顯微鏡行程 |
具備高剛性龍門(mén)架結(jié)構(gòu),XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸,精度lum |
|||
CCD成像系統(tǒng) |
2k或者4K相機(jī),幀率60fps,帶拍照/錄像/測(cè)量功能等功能 |
|||
探針座 |
種類(lèi) |
絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座 |
||
X¥Z行程 |
12.5mm-12.5mm-12.5mm |
|||
機(jī)械精度 |
0.5um/0.7um/2um |
|||
夾具 |
漏電精度 |
同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA |
||
接口形式 |
同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚(yú)夾/裸線等接口 |
|||
其它 |
選件 |
屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤(pán)/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動(dòng) |
||
電力需求 |
220W50HZ |
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