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紫外臭氧清洗儀（UV/Ozone ProCleaner™ and ProCleaner™ Plus ）

美國Biofore公司的ProCleaner的產(chǎn)品線提供非常有競爭力的價位，并給研究者提供更多的選擇機會。該ProCleaner ™裝置的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。UV紫外臭氧清洗過程提供一種簡單、經(jīng)濟、快速獲得超潔凈的表面，去除大多數(shù)無機基材（比如石英、硅片、金屬、玻璃、云母、石英、陶瓷、聚合物等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗機處理幾分鐘就可以了。

ProCleaner紫外臭氧清洗儀的特點:：

1、間歇式燈泡工作方式。燈和定時器通過關(guān)閉門來觸發(fā)

2、低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV，促進快速氧化，去除微量的有機殘留物。

3、UV保護讓設備操作更安全

4、操作簡單：設定定時器，打開門，抽出托盤，將元件放在托盤上。將托盤滑入并關(guān)閉門

5、為實驗室節(jié)省開支，使探針和樣品可重新使用

6、堅固耐用，結(jié)構(gòu)緊湊(體積小)

7、低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nm UV，促進快速氧化，去除微量的有機殘留物。

8、室溫操作

ProCleaner紫外臭氧清洗儀，應用領域：

·預處理表面圖案化工具

·清潔硅和氮化硅探針

·晶圓清洗

·表面氧化及制備

·提高表面親水性

·表面清洗

·制備薄膜沉積

·紫外光固化

·表面圖案化

·清洗光學鏡頭

·粘接硅橡膠

·表面消毒

·清潔MEMS器件 

     技術(shù)參數(shù)：

紫外臭氧清洗工作原理：

ProCleaner紫外臭氧清洗儀的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機污染物可以和等離子氧原子反應形成氣體，比如CO2,H2O等。整個過程在室溫中進行，并且只需要1到幾分鐘完成。

*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃。這種現(xiàn)象是由于基材吸收UV能量， 而不是一種涂層。這種氧化鋁在加熱情況下會轉(zhuǎn)化為他原來的顏色。