氮化硅薄膜的性質(zhì)：1. 硬度大，致密性好，表面光滑，機(jī)械強(qiáng)度大，穩(wěn)定性好；2. 對(duì)軟X射線有很好的穿透性，對(duì)可見(jiàn)光是透明的。

 

上海昭沅儀器設(shè)備有限公司專業(yè)致力于銷售各種高端科研儀器，代理世界一流公司的表面測(cè)試及表面處理等產(chǎn)品，公司擁有一批經(jīng)驗(yàn)豐富的銷售人員和技術(shù)人員組成，著重為各高校，研究所等單位提供集產(chǎn)品、應(yīng)用和服務(wù)于一體的整體解決方案！ 

      公司重點(diǎn)致力于大專院校、科研院所實(shí)驗(yàn)和企業(yè)生產(chǎn)所需的各種表面處理設(shè)備、表面形貌測(cè)試儀器及相關(guān)電鏡耗材的銷售和技術(shù)推廣。

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隨著各種軟X射線光源的出現(xiàn)，如同步輻射、激光等離子體等高亮度的X射線源的發(fā)展，軟X射線顯微成像技術(shù)在全范圍內(nèi)得到迅速發(fā)展。光學(xué)顯微鏡與電子顯微鏡相比，軟X射線顯微術(shù)是研究自然狀態(tài)下生物樣品高分辨率成像的方法。為了充分體現(xiàn)軟X射線顯微術(shù)對(duì)生物自然狀態(tài)下觀測(cè)的特色，必須借助于一定的窗口將真空中的軟X射線盡可能小的吸收比。由于氮化硅膜具有如下優(yōu)良的性質(zhì)，因而需要各種尺寸和厚度的氮化硅薄膜作為軟X射線顯微術(shù)的窗口材料。

氮化硅薄膜的性質(zhì)：

1.      硬度大，致密性好，表面光滑，機(jī)械強(qiáng)度大，穩(wěn)定性好；

2.      對(duì)軟X射線有很好的穿透性，對(duì)可見(jiàn)光是透明的。

氮化硅膜可用作軟X射線接觸顯微術(shù)的襯底支持膜，成像后直接進(jìn)行透射電鏡觀察；可作為同步輻射光束線中的污染阻擋層；可以成為制作各種光學(xué)波帶片的襯底薄膜；可以作為投影顯微術(shù)靶的支持膜；可以用作真空窗口，在同步輻射軟X射線顯微術(shù)中，隔開(kāi)光源超高真空與顯微術(shù)光學(xué)元件高真空部分；在活樣品室設(shè)計(jì)中，隔開(kāi)高真空的軟X射線部分與大氣壓，使樣品在大氣中曝光，這對(duì)于研究生物活細(xì)胞具有重大意義。

RISUN氮化硅薄膜窗特點(diǎn)

RISUN的X-射線薄膜窗能夠?qū)崿F(xiàn)軟X-射線(如真空紫外線)的zui大透射率，主要用于同步輻射X射線透射顯微成像時(shí)承載樣品。 X-射線越軟(能量越低)，穿透能力越差，所需氮化硅薄膜窗越薄。特別在“離軸”狀態(tài)工作（即薄膜與光束成一定角度）時(shí)，也需要較薄的薄膜窗口，便于X射線更好地穿透。

1. RISUN提供的氮化硅薄膜窗口是利用現(xiàn)代MEMS技術(shù)制備而成；

2. RISUN提供的氮化硅窗選用低應(yīng)力氮化硅（0-250MP）薄膜，和ST氮化硅薄膜相比，低應(yīng)力產(chǎn)品更堅(jiān)固耐用，成為用戶的；

3. RISUN提供的氮化硅薄膜窗口非常適合應(yīng)用于透射成像和透射能譜等廣泛的科學(xué)研究領(lǐng)域，例如，X-射線（上海光源透射成像/能譜線站）、TEM、SEM、IR、UV等。

透光度

使用透射（光學(xué)）顯微鏡時(shí)，完全可以透過(guò)薄膜窗進(jìn)行觀察。但薄膜窗的厚度有一定限制，否則其透光度會(huì)明顯下降。對(duì)于X射線用窗口，500nm厚的氮化硅薄膜有很好的X光穿透效果，對(duì)于軟X射線（例如碳邊吸收譜），100-200nm厚的氮化硅薄膜窗口是用戶。

真空適用性

表面平整度

RISUN氮化硅薄膜窗口具有穩(wěn)定的表面平整性（粗糙度小于1nm），對(duì)于X射線應(yīng)用沒(méi)有任何影響。

溫度特性

RISUN氮化硅薄膜窗口是耐高溫產(chǎn)品，能夠承受1000℃高溫，非常適合在其表面利用CVD方法生長(zhǎng)各種納米材料。

化學(xué)特性

RISUN氮化硅薄膜窗口是惰性襯底。

RISUN氮化硅薄膜窗規(guī)格

單窗口系列

薄膜厚度	窗口尺寸	框架尺寸	型號(hào)
50-200nm	1.5X1.5mm	5.05.0mm	RISUN
50-200nm	2.5X2.5mm	7.5X7.5mm
50-200nm	3.03.0mm	1010mm
50-200nm	5.05.0mm	1010mm

硅片厚度：200um、381um、525um；

 

多窗口系列

薄膜厚度	窗口尺寸	框架尺寸	型號(hào)
50nm	2x2陣列，1.5X1.5mm	5.05.0mm	RISUN
50nm	3x3陣列，1.5X1.5mm	7.5X7.5mm
100nm	4x4陣列，1.5X1.5mm	1010mm

硅片厚度：200um、381um、525um；

 

定制系列

可根據(jù)用戶需求提供不同膜厚、鍍層（如Au/Cu/Mg/Ni等）的定制服務(wù)。

本產(chǎn)品為一次性產(chǎn)品，不建議用戶重復(fù)使用；本產(chǎn)品不能進(jìn)行超聲清洗，適合化學(xué)清洗、輝光放電和等離子體清洗。
 

應(yīng)用簡(jiǎn)介

1. 同步輻射X射線（紫外或紫外）透射成像或透射能譜應(yīng)用中是不可或缺的樣品承載體。

2. 耐高溫、惰性襯底，適應(yīng)各種聚合物、納米材料、半導(dǎo)體材料、光學(xué)晶體材料和功能薄膜材料的制備環(huán)境，利于制備理想的用于X射線表征用的自組裝單層薄膜或薄膜（薄膜直接沉積在窗口上）。

3. 生物和濕細(xì)胞樣本的理想承載體。特別是在等離子體處理后，窗口具有很好的親水性。

4. 耐高溫、惰性襯底，也可以用于化學(xué)反應(yīng)和退火效應(yīng)的原位表征。

適合作為膠體、氣凝膠、有機(jī)材料和納米顆粒等的表征實(shí)驗(yàn)承載體。


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