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SCG-4 供應SCG系列探針臺

深圳市森美協(xié)爾科技有限公司

會員指數(shù)：

企業(yè)認證：

價格：電議

所在地：廣東深圳市

型號：SCG-4

更新時間：2017-02-15

瀏覽次數(shù)：995

公司地址：深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道恒豐工業(yè)城C1棟3樓

15338745912 吳先明(先生)

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產(chǎn)品簡介

本公司長期供應SCG系列探針臺，高低溫真空系統(tǒng)，采用液氮制冷。

公司簡介

深圳市森美協(xié)爾科技有限公司位于廣東深圳寶安區(qū)專業(yè)從事電子、機械、探針臺、高低溫沖擊系統(tǒng)，我們具有多年的電子相關(guān)產(chǎn)品與服務的銷售和經(jīng)驗。憑借專業(yè)的技術(shù)，誠信的經(jīng)營，和不斷創(chuàng)新的精神公司發(fā)展迅速。在發(fā)展的同時公司不忘不斷總結(jié)不斷優(yōu)化為客戶的服務，和一如既往的熱情贏得了新老客戶的極高評價及青睞。

展開

產(chǎn)品說明

低溫和高溫真空探針臺

SEMISHARE真空環(huán)境高低溫測試技術(shù)

以下兩個應用需要真空測試環(huán)境。

低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

高溫無氧化測試：

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現(xiàn)象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現(xiàn)象，定位好的探針與器件電間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

SCG-C-4(閉循環(huán))/SCG-O-4(開循環(huán))特點：

載物Chuck 溫度范圍：4K-500K

外置4個定位針臂，預留2個

探針X-Y-Z三方向移動，行程：25.4mm，定位精度：10微米

多可以外置6個定位針臂

載物chuck zui大可到8英寸

雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度

針臂定位精度可以升級為0.7微米

可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測試

可以選擇防震桌

可以選擇超高真空腔體,限真空到10-10 torr

客戶訂制

溫控規(guī)格:

控溫范圍	4K-500K
控溫精度	0.001K
溫度穩(wěn)定性	4 K + - 0.1 K
	77 K + - 0.1 K
	373 K + - 0.08 K
	473 K + - 0.1 K
	823 K + - 0.2 K(可選)
	973 K + - 1.0K(可選)
常溫到8K冷卻時間:	1小時40分鐘
8K到常溫升溫時間:	1小時30分鐘
從常溫開始的升溫時間	473K 823K 973K
(4 chuck，單位分：秒)	25:00 55:00 70:00
電源	直流
材質(zhì)	SS304
功率(4chuck)	50/100W

機械規(guī)格

針座行程
X軸方向	25.4mm(1 inch)
	可以選擇50.8mm
Y軸方向	25.4mm(1 inch)
	可以選擇50.8mm
Z軸方向	25.4mm(1 inch)
	可以選擇50.8mm
移動精度
X軸方向	10 micron
	可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
Y軸方向	10 micron
	可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
Z軸方向	10 micron
	可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron
探針可旋轉(zhuǎn)角度(應用于射頻測試)	+-5 度

光學部件規(guī)格

顯微鏡X-Y軸方向行程	2"*2"
	可以選擇4"*4"
總共放大倍率	240
	可以選擇更高倍率
真空腔觀察窗口	4 inch
	外部石英材質(zhì)99%紅外線穿過率
	內(nèi)部吸收紅外線僅可見光通過
光源	150W可連續(xù)調(diào)節(jié) 雙光纖導引

可選附件

防震桌

方形chuck

分子泵組

射頻部件

Chuck可外部移動裝置

客戶定制。

本頁產(chǎn)品地址：http://www.18bearing.com/sell/show-6576011.html

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