1 半導(dǎo)體級(jí)多晶硅還原廠房的還原爐室應(yīng)按潔凈廠房進(jìn)行設(shè)計(jì)，空氣潔凈度等級(jí)不應(yīng)低于8級(jí)。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定 多晶硅無塵車間設(shè)計(jì)施工

江西全立森凈化工程有限公司是一家集潔凈室、無塵車間規(guī)劃設(shè)計(jì)、預(yù)算、施工、維護(hù)及保養(yǎng)于一體的專業(yè)化潔凈工程公司。公司從事潔凈室行業(yè)多年，從業(yè)人員均有十年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，長期服務(wù)于電子、醫(yī)藥、食品、醫(yī)療等領(lǐng)域，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、合理的報(bào)價(jià)，還有一批的專業(yè)化的施工隊(duì)伍，確保施工綠色環(huán)保，安全文明。

公司本著“嚴(yán)格掌握新規(guī)范，追求并且予以創(chuàng)新”的設(shè)計(jì)理念，憑借超前的設(shè)計(jì)構(gòu)思、合理的預(yù)算報(bào)價(jià)、精良的施工工藝，優(yōu)質(zhì)的全程服務(wù)，真誠的為每一位客戶，量身定制全新、經(jīng)濟(jì)、節(jié)能的生產(chǎn)和工作環(huán)境。 自公司成立以來，全體員工一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為核心，以“誠信”為宗旨，不斷的提供優(yōu)質(zhì)、經(jīng)濟(jì)、節(jié)能、高可靠性的潔凈系統(tǒng)為客戶提供大的價(jià)值回報(bào)，從而使公司不斷發(fā)展壯大 。

●Ⅰ～Ⅳ級(jí)SC食品工業(yè)潔凈建筑設(shè)計(jì)、建造；

●Ⅰ～Ⅳ級(jí)醫(yī)院潔凈手術(shù)室、ICU、、供應(yīng)室設(shè)計(jì)、安裝及維護(hù)保養(yǎng)；

●A～D級(jí)GMP醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)、建造及維護(hù)保養(yǎng)；

●10萬級(jí)～100級(jí)電子無塵車間、醫(yī)療器械及消毒用品無菌車間、設(shè)計(jì)施工；

●P1～P3級(jí)生物安全實(shí)驗(yàn)室及其他行業(yè)通風(fēng)凈化系統(tǒng)設(shè)計(jì)、建造及維護(hù)保養(yǎng)；

多晶硅無塵車間設(shè)計(jì)施工
多晶硅無塵車間環(huán)境設(shè)施要求：

1 半導(dǎo)體級(jí)多晶硅還原廠房的還原爐室應(yīng)按潔凈廠房進(jìn)行設(shè)計(jì)，空氣潔凈度等級(jí)不應(yīng)低于8級(jí)。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)設(shè)有通往整理廠房的連廊時(shí)，連廊的空氣潔凈度等級(jí)和處理方法應(yīng)與還原爐室的要求一致，宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

    2 還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面，當(dāng)采用水磨石地面時(shí)，應(yīng)采取防靜電措施。墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹脂涂料。

    3 整理廠房空氣潔凈度等級(jí)及潔凈區(qū)劃分應(yīng)按工藝要求設(shè)置，空氣潔凈度不應(yīng)低于8級(jí)。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

    4 整理廠房的潔凈房間地面宜采用環(huán)氧自流平地面、聚氯乙烯(PVC)膜材料或水磨石地面，地面應(yīng)采取防靜電措施。

廠房空氣潔凈度等級(jí)、溫度、濕度的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。

存在下列情況之一時(shí)，空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)分開設(shè)置：

    1 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；

    2 空氣中含有易燃、易爆物質(zhì)；

    3 容易產(chǎn)生交叉污染，對(duì)其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量造成影響；

    4 對(duì)溫、濕度控制要求差別大；

    5 工藝設(shè)備散熱量相差懸殊。

保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量應(yīng)符合下列規(guī)定：

    1 5級(jí)～8級(jí)潔凈室送風(fēng)量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；

    2 生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅的還原爐室，當(dāng)空調(diào)系統(tǒng)為三級(jí)過濾時(shí)，其送風(fēng)量應(yīng)按換氣次數(shù)大于或等于6次／h計(jì)算。

潔凈室送風(fēng)可采用集中送風(fēng)或風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組送風(fēng)的方式。

潔凈空調(diào)送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)連鎖，正壓潔凈室連鎖程序應(yīng)為先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；關(guān)閉時(shí)連鎖程序應(yīng)相反。

還原車間應(yīng)獨(dú)立設(shè)置直流空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)，不應(yīng)回風(fēng)。

腐蝕清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)不宜回風(fēng)。多晶硅無塵車間設(shè)計(jì)施工

潔凈空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)集中處理時(shí)，新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)符合下列規(guī)定：

    1 新風(fēng)應(yīng)經(jīng)過粗效過濾器處理；

    2 嚴(yán)寒地區(qū)新風(fēng)應(yīng)先預(yù)熱；

    3 送風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施。

空氣過濾器選用、布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

    1 空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)選用過濾器；

    2 空氣過濾器處理風(fēng)量不應(yīng)大于額定風(fēng)量；

    3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)系統(tǒng)的正壓段；

    4 亞高效和高效過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。

風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

    1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用；

    2 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；

    3 應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。

凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)宜采用變頻裝置。

附錄C 主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度 

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