產品簡介
PVC3000 系列 MEMS 熱電堆真空傳感器提供了突破性的真空測量解決方案。通過這種方案,可以測量從 1mTorr(0.13Pa)到一個標準大氣壓(760Torr,101KPa)的整個量程。很明白,皮拉尼真空度傳感器的測量上限僅達到 30Torr。一個壓阻式壓力傳感器無法測量低于 10Torr 的真空度。一個昂貴的電容式壓力傳感器的測量下 限也僅有0.1Tor
公司簡介
博思發(fā)科技公司的總部位于加州圣何塞,即硅谷中心。公司致力于提供高性能低成本的傳感器和傳感器解決方案,幫助客戶解決從消費電子產品、暖通空調到醫(yī)療設備和數據中心管理的廣泛 應用中所面臨的嚴峻的設計挑戰(zhàn)。博思發(fā)科技公司在圣何塞總部設計和開發(fā)用于傳感器的芯片,芯片在通過ISO/TS 16949和ISO 9001認證的美國芯片工廠生產。博思發(fā)科技公司通過直接銷 售以及美國、歐洲、韓國和中國的代理商網絡為全球客戶提供服務。2018年10月,博思發(fā)科技公司設立深圳分公司,為日益增長的中國客戶提供本地化的技術和應用支持。
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產品說明
博思發(fā)科技公司的 PVC3000 系列 MEMS 熱電堆真空傳感器提供了突破性的真空測量解決方案。通過這種方案,可以測量從 1mTorr(0.13Pa)到一個標準大氣壓(760Torr,101KPa)的整個量程。很明白,皮拉
尼真空度傳感器的測量上限僅達到 30Torr。一個壓阻式壓力傳感器無法測量低于 10Torr 的真空度。一個昂貴的電容式壓力傳感器的測量下 限也僅有0.1Torr。PVC3000 系列傳感器可以同時取代上述幾
種傳感器。
此外,PVC3000 擁有超快響應時間(不超過 2mSec)和超低功耗(典型值:45mW)的特點。通過休眠的手段,功耗還可以進一步減低。比如說,把休眠觸發(fā)設置為10Hz,那么功耗可以減低到 5mW。
PVC3000 可以倍設計位差分結構,將一個傳感器暴露于真空當中(作為測量單元),同時把另一個傳感器放置于大氣環(huán)境中(作為參考單元)。這樣的差分結構可以實現自動內部溫度補償,以及排除其他可能造
成傳感器漂移的環(huán)境因素,以此達到良好的重復性和長期穩(wěn)定性。
PVC3000 采用了博思發(fā)的第二代熱傳導傳感器芯片(PTCD20),利用氣體的熱傳導率與該氣體的真空度成正比的原理設計而成。
PVC3000 系列傳感器,現在向客戶提供兩種封裝形式。PVC3001 封裝在 TO5 的金屬殼體中,PVC3004封裝在 TO46 的金屬殼體中。
特點
?量程:0.001~760 托(0.13~101K 帕)
?響應時間:小于 2 毫秒
?功耗:小于 5mW(10Hz 喚醒頻率)
?利用差分結構實現自動內部溫度補償(依賴于
實際應用電路)
?可以浸泡于溶液中清洗,延長使用壽命
應用 ?
? 密閉真空系統(tǒng)的泄漏檢驗
?真空包裝機
?便捷式數字真空計
**條件 ?
?工作溫度:-25~85℃
?存儲溫度:-40~90℃
?機械沖擊:100g 峰值(5 次跌落,3 軸)



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