半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL系列，應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

成都中冷低溫科技有限公司是一家創(chuàng)新型高科技企業(yè)，擁有一支專業(yè)知識扎實、實戰(zhàn)經(jīng)驗豐富的年輕團隊，主要成員來至于國內(nèi)外知名學府或科研院所。公司專注于低溫領域，提供常溫到-200℃的全套溫度解決方案，主要生產(chǎn)工業(yè)冷水機組、低溫制冷機、深冷水汽捕集泵、高低溫循環(huán)測試機、太空模擬倉，產(chǎn)品應用于化工、石油、生物、制藥、真空鍍膜、電子通訊、電池包測試、集成電路等領域。

半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL系列

本設備性能優(yōu)異，體積小、噪音低、耗電量低、熱效率高且可根據(jù)需求定制，控制精度可達±0.05℃，適用于溫濕度控制良好的環(huán)境，具有定時運轉(zhuǎn)、溫度補償、實現(xiàn)自我診斷等功能，且可實現(xiàn)過熱、過載、缺水等多重報警功能，遠程控制方便，可以實現(xiàn)RS232、RS485、ETH等多種不同通訊方式控制。

半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL系列
溫控精度（空載時）±0.05℃

 觸摸屏操作，人機交互界面

 連鎖控制、可靠性高

 定時運轉(zhuǎn)、液面降低、停電復位、防凍功能

 溫度波動小

 占地面積小、保護裝置

 快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運營成本和保障生產(chǎn)

 運行穩(wěn)定、準確控溫

半導體冷水機低溫冰水機Chiller ZL系列

應用領域

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP （工藝機械拋光）實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

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