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發(fā)布緊急求購(gòu) |
價(jià)格:電議
所在地:河南 鄭州市
型號(hào):NBD-PECVD1200-50T2-N
更新時(shí)間:2024-09-18
瀏覽次數(shù):605
公司地址:新鄭市新華辦竹園8號(hào)
司合軍(先生)
雙爐膛滑軌式PECVD主要特點(diǎn):
1. 清洗鍍膜一氣呵成,杜絕二次污染;
2. 上開(kāi)啟式結(jié)構(gòu),方便觀察試樣;
3. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式,觸摸屏,數(shù)字化顯示;
4. 可通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果;
5. 穩(wěn)定的射頻電源,均勻的溫度分布,提高成膜質(zhì)量。
雙爐膛滑軌式PECVD配置參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) |
NBD-PECVD1200-50T2-N |
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電氣規(guī)格 |
AC220V 3KW 射頻功率:300或500瓦 13.56Mhz |
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可達(dá)溫度 |
1200 ℃ (<1小時(shí)) |
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連續(xù)溫度 |
1100 ℃ (連續(xù)) |
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可達(dá)加熱速率 |
≤20 ℃/分鐘 |
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加熱區(qū)長(zhǎng)度 |
200mm+200mm(兩個(gè)加熱溫區(qū)分別加熱,分體式設(shè)計(jì)使溫度梯度可以達(dá)到極限) |
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爐管尺寸 |
Φ50*1800mm |