北京普瑞億科科技有限公司是國內(nèi)盛名的儀器設(shè)備、系統(tǒng)方案和咨詢服務(wù)提供商，成立于2007年，為北京市高新技術(shù)企業(yè)，通過ISO90001國際質(zhì)量管理體系認(rèn)證。主要從事生態(tài)環(huán)境、植物生理、土壤地質(zhì)、農(nóng)林水文、民航氣象、環(huán)境遙感等領(lǐng)域相關(guān)儀器設(shè)備的自主研發(fā)和國外知名儀器設(shè)備在中國大陸的推廣銷售和技術(shù)服務(wù)工作。

公司堅定不移地推進科技創(chuàng)新和自主研發(fā)，組建了具有豐富儀器研發(fā)經(jīng)驗和精湛應(yīng)用知識的高素質(zhì)研發(fā)團隊，攜手中國科學(xué)院等各方合作伙伴先后獲得北京市科委、中國科學(xué)院、國家科技部等單位的重大儀器設(shè)備研發(fā)項目支持并取得矚目成果，開發(fā)出一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的專li產(chǎn)品。相關(guān)產(chǎn)品包含不限于RhizoScan原位根系掃描儀、IPS-1000同位素光合儀、PRI-3000水真空抽提系統(tǒng)、PRI-3500 14C樣品制備系統(tǒng)、PRI-8500地上地下廓線分析系統(tǒng)、PRI-8600通道土壤呼吸和群落光合控制系統(tǒng)、PRI-8650實驗室土壤呼吸測量系統(tǒng)、PRI-8700在線通流土壤呼吸測量系統(tǒng)、PRI-8800 全自動變溫土壤培養(yǎng)前處理系統(tǒng)、METLOG科研級氣象站等，相關(guān)產(chǎn)品已經(jīng)在中國生態(tài)系統(tǒng)研究網(wǎng)絡(luò)CERN諸多單位安裝運行，并取得用戶的一致好評。

公司重視引進國際先進的儀器設(shè)備，通過10余年的不懈努力，先后獲得美國Picarro、意大利NCT、英國CSS、美國AGT、法國APIX、美國Hydroinnova、法國Hprobe、美國UIC、美國ASI、德國Tec5、美國MicaSense、波蘭E-TEST等世界知名儀器公司在中國的代理權(quán)，并設(shè)立了相關(guān)技術(shù)服務(wù)中心；同時與美國Thermo Fisher、PerkinElmer達成長期戰(zhàn)略發(fā)展合作協(xié)議，旨在專業(yè)范圍內(nèi)，為客戶提供科學(xué)有效的系統(tǒng)解決方案。

公司非常注重產(chǎn)品應(yīng)用培訓(xùn)和售前售后服務(wù)支持，投資近千萬元設(shè)置開放實驗室并通過CMA認(rèn)證，進行樣品分析檢測及測試方法探索、提供售前售后技術(shù)支持、參與國家標(biāo)準(zhǔn)制定等；設(shè)立了專業(yè)的技術(shù)支持服務(wù)團隊，堅守“科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)、快速高效”的服務(wù)理念，為客戶提供7×24小時快速響應(yīng)和全方位技術(shù)支持，協(xié)助客戶制定科研工作中所需的高級設(shè)備配置、探討科研方案設(shè)計、分析科研數(shù)據(jù)及檢驗驗證儀器設(shè)備等工作。穩(wěn)定的產(chǎn)品質(zhì)量與高效的服務(wù)支持贏得諸多客戶的信賴，真正做到了“Science to Solutions”。

立足現(xiàn)在、著眼未來，公司始終奉行“誠信服務(wù)、質(zhì)量優(yōu)先、真誠合作、共同發(fā)展”的企業(yè)宗旨，秉承服務(wù)程序更簡單、更靈活、更機動、響應(yīng)速度更快的經(jīng)營理念，積極為客戶提供更安全、更優(yōu)質(zhì)、更可靠、更高效、更高性價比的解決方案和先進產(chǎn)品，讓更多的用戶獲益于世界先進儀器設(shè)備帶來的方便和快捷。

地址：北京市海淀區(qū)瀚河園路自在香山159號樓2單元202室 郵編：100093

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電話：(+86)10-51651246，88121891

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Speed-Up Wafer-level Magnetic Test

Hprobe 晶圓級測試儀

主要特點

§     大范圍面內(nèi)和垂直場

§     磁場三維可控

§     旋轉(zhuǎn)磁場

§     嵌入式傳感器校準(zhǔn) ( Hall 傳感器 )

§     自動化測試程序

§     MRAM 參數(shù)提取軟件

§     100mm~300mm 晶圓可測

§     兼容標(biāo)準(zhǔn)探針卡

Hprobe 測試儀是磁場下晶圓級表征及測試的工具。它采用的3D磁場發(fā)生器和的、可定制的、商業(yè)化硬件，為傳感器到MRAM等磁性器件，提供完整的測試解決方案，該工具符合晶圓自動化 測試的標(biāo)準(zhǔn)。

技術(shù)說明

磁性 3D 發(fā)生器

Hprobe 測試儀采用的3D磁場發(fā)生器，其中每個磁場的空間軸都是驅(qū)動。通過控制 3 個軸的磁場，用戶可實現(xiàn)任意方向磁場，同時 也可產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)磁場。 發(fā)生器提供所有的控制儀器、控制程序和校準(zhǔn)工具。

3D磁性發(fā)生器位于探測器上，在晶圓上生成局部磁場，探針位于磁場發(fā)生器與晶圓之間。發(fā) 生器和探測器卡盤之間的標(biāo)準(zhǔn)z軸間距為 1mm，500μm 到 5mm 內(nèi)可調(diào)。

校準(zhǔn)

測試儀并沒有為所有可能的磁性配置提供詳盡 的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)表。但用戶能夠自定義額外定制磁 場類型，校準(zhǔn)相應(yīng)的線圈電流以產(chǎn)生需要的場 類型。

校準(zhǔn)包括：

§    將理論磁場應(yīng)用于待測器件

§    沿三軸測量感興趣區(qū)域內(nèi)的磁場測量數(shù)據(jù)用于補償和調(diào)整在晶圓測試期間施加

的磁場。

校準(zhǔn)測量用嵌入在探測器內(nèi)的 3D 霍爾傳感器 完成。

3D  校準(zhǔn)傳感器特征

§   角精度高

§   靈敏度5V /特斯拉

§   測量范圍2特斯拉

§   差分輸出

§   溫度靈敏度：<100 ppm/°

§   在探頭上集成溫度傳感器用于溫度補償

晶圓探測器

Hprobe 測試儀是由工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓探測器構(gòu) 成，囊括 100mm 手動探測器到 300mm 全自 動，適于生產(chǎn)的探測器。探測器通常包括：

§     溫控卡盤（熱/冷）

§     探針卡定位可視化操作

§     晶圓裝填器

§     單一晶圓承載器

§     嵌入式校準(zhǔn)傳感器

§     破碎晶圓承載器（可選）

其他特定的 HW/SW 探針選項可根據(jù)客戶要求 定制。

探測器控制是通過我們的測試程序驅(qū)動的，針 對探測器功能提供完全的用戶訪問權(quán)限。

儀器

Hprobe 測試儀提供全套儀器來驅(qū)動和測量大多數(shù)磁性器件，比如 MRAM（STT，SOT，電壓控制），

傳感器（AMR，GMR，TMR）和磁性 MEMS。

預(yù)定義的儀器包括批量生產(chǎn)的源表（SMU），數(shù)字萬用表（DMM），任意波形發(fā)生器（AWG）和脈 沖發(fā)生器。其他儀器可根據(jù)要求提供，并且可以輕松地集成在該工具的硬件和軟件中。源測量單元 (S M U )

§     zui小測量范圍 20mV

§     zui小量程 1nA

§     > 3,000 讀數(shù)/秒

§     白噪聲 2mV rms

數(shù)字萬用表（ DM M ）

§     18 位，zui小測量范圍 100mV

§     分辨率 10nV

§     zui小記錄時間 1μs

任意波形發(fā)生器（ AW G ）

§     雙通道，帶寬 40MHz

§     正弦波，方波與脈沖高達 30MHz

§     斜率&三角波達 200kHz

探針

§     每個通道的任意波形 < 1Msample

§     zui大采樣率 250Msample/秒

脈沖發(fā)生器

§     zui小脈沖寬度 300 ps

§     脈寬精度 10 ps

§     上升/下降時間 < 70 ps

(20%-80%)

§     輸出幅度 10 mVpp~5 Vpp

§     zui大重復(fù)率 500 MHz/每通 道

§     觸發(fā)到輸出晃動 < 35ps

RMS

Hprobe測試儀易拓展，用戶可使用工業(yè)用探針，也可以使用裝有DC和RF探針的顯微操縱器。的限

制是磁場發(fā)生器和晶片之間的間隔在高磁場下必須保持盡可能的?。?/strong><1mm）。